蚀刻加工显影中常见问题有哪些?
蚀刻加工显影中常见问题:
a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。显影液不足造成;
b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直,由显影时间不足造成;
c、过度显影(Over Development)。靠近表面的蚀刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。
a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。显影液不足造成;
b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直,由显影时间不足造成;
c、过度显影(Over Development)。靠近表面的蚀刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。
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