蚀刻加工显影中常见问题有哪些？

2018-08-21 14:04:15

蚀刻加工显影中常见问题：

a、显影不完全（Incomplete Development）。表面还残留有光刻胶。显影液不足造成；

b、显影不够（Under Development）。显影的侧壁不垂直，由显影时间不足造成；

c、过度显影（Over Development）。靠近表面的蚀刻胶被显影液过度溶解，形成台阶。